【応用分野】

●圧電素子・非金属面の振動解析
静止状態から階段状に変化する変位測定のアプリケーションなどで圧倒的な強みを発揮します

●HDD、光ディスクなどの回転動特性評価

●マイクロマシンの微小変位測定動解析

■スペック
測定方式		FM変調光ヘテロダイン干渉方式（変形マッハツェンダ型干渉計）
光源		半導体レーザ
		波長：約670nm
		最大出力：0.95mW以下（レーザ安全クラス2）
差動距離		約30mm（ヘッド出力端面―被測定物間）
測定範囲		±50μｍ
レーザスポット径		70μｍ以下（半値幅　合焦位置にて）
変位出力	出力DA変換器	14ビット	出力フルスケール：0V〜＋3.35V（レーザ波長670nmの場合）
			最高分解能：20ピコメートル（測定レンジ0.1μm/V）
	最高応答速度	0.785m/s（周波数250ｋHz、振幅1μmp-p正弦波の周波数・速度積相当の信号を測定可能）
	ローパスフィルタ	OFF、2kHz、20ｋHz
測定振動周波数振幅積		250ｋHz・μｍ以内
電源		AC100V±10V、50/60Hz、110VA以下（AC100V50Hzにて）
大きさ	センサヘッド部	約W72mm×L128mm×H37mm　（コネクタ含めず）
	本体部	約W250mm×D350mm×H150mm　（コネクタ突起部含めず）
	センサケーブル	長さ：約1.5m
環境条件	性能保証温度	+18℃〜+28℃
	動作温湿度範囲	+13℃〜+33℃（80％RH以下結露しないこと）
	予熱時間	電源投入後30分

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