横河電機は、半導体製造装置や電子部品・電子機器組立て装置などへの組み込みコントローラ「eMbeddedM＠chine
Controller e−RT3(イーアールティースリー)」用に、「Linux対応CPUモジュール」を開発、9月24日より市場に投入する。初年度販売目標は国内外含めて1000台で、次年度2000台を目指す。
近年、生産効率向上のために、半導体製造装置などの各種装置の制御において、機械制御に加え、データ演算機能、データ処理機能、装置間のシームレスなデータ交換機能などさまざまな機能が求められるようになっている。
ネットワークや情報処理用のソフトウェアはパソコン上で稼動するため、これらの機能を実現するためには、装置に制御用の組み込みコントローラを実装した上に、情報処理用途でパソコンやデータ収集機器を外付けする必要がある。また、スペースを多く取る上に外付け機器のドライバの違いなどからシステム構成が煩雑であるという課題があった。
こうした中、この課題を解決するためにLinuxに対応したCPUモジュールを当社の組み込みコントローラ「e−RT3」用に開発。モジュールだけで装置の制御と情報処理を実現した。
おもな特長は、ソフトリアルタイム性能を備えたLinuxカーネル2.6に対応したため、装置制御と情報処理の融合が可能。また、Linuxに対応した豊富なアプリケーションを活用でき、高い汎用性と高機能なアプリケーションを低コストで開発することができる。
「e−RT3」は、半導体製造装置などの各種装置の制御で使用される代表的なリアルタイムOSであるVxWorks、NORTi（iTRON）、WindowsCE、OS−9に対応した組み込みコントローラ。
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「e−RT3」用「Linux対応CPUモジュール」
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