2008年９月３０日（火）

レーザーテック、電子顕微鏡と3CCDﾘｱﾙｶﾗｰｺﾝﾌｫｰｶﾙ顕微鏡を融合した新製品

レーザーテックは、ミクロンレンジからナノレンジまでシームレスに測定したいという市場ニーズに応える電子顕微鏡(SEM)と、最新の3CCDリアルカラーコンフォーカル顕微鏡を融合した「OPTELICS　SH1200」を開発、販売を開始した。販売価格は本体価格が約2,800万円。年間販売目標は、約20台を見込む。 　新製品は、ウエハーパターンや電子部品、ナノインプリント、ナノビッカーズなどのサンプルを、nm領域からmm領域までシームレス観察可能。同社が長年培ってきたコンフォーカル顕微鏡の技術とＳＥＭを融合した装置で、双方の強みをいかした観察・計測の手段を提案する。 　共焦点顕微鏡は3CCDリアルカラーコンフォーカル顕微鏡を搭載し、高速に「3Dの観察、計測」できる。 　一方、SEMには低真空、高真空観察さらに、オプションでＸ線元素分析機能(EDX)の搭載が可能だ。このEDXを搭載することにより、エネルギ分散法による元素分析へも展開できる。 　3CCDリアルカラーコンフォーカル顕微鏡部は、キセノン光源を採用。倍率が20／50／100倍選択半固定（真空対物）で、フレームレートは0.1Hzから120Hzまで11段階切り替え可能である。 　SEM部は、高真空5nm(SE像)・低真空6nm(BSE像)の分解能で、加速電圧が１から30kV。倍率は20から30万倍で、SEM画像に3Dプロファイラーを標準で装備している。 　オプションのＸ線元素分析部は、検出可能元素がBからUで、検出器素子面積は10平方mm。エネルギ分解能は133eV以下保証する。        　　　　　　OPTELICS　SH1200

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